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Titan1500C

Titan1500C真空洁净机器手采用网络化控制系统,具有优良的防碰撞保护功能及动态纠偏功能,产品通过SEMI认证,MCBF大于1000万次。产品在磁流体密封技术及手臂使用钢带进行动力传输的技术加持下,具备高洁净度,高真空度、低漏率,耐高温、耐腐蚀,负载能力强等特点。Titan1500C作为LED芯片制造领域的真空机械手产品主要用于LED芯片制造过程中,实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送,在使用过程中因其高精度、高传输效率、负载能力强等特点,大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率,是LED芯片制造装备的关键产品。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上,针对其大负载需求,创新了其传输结构和控制规律,使其能够达到12kg的负载能力,以高品质、高性价比服务于广大客户并在行业取得领先位置。

advantages

产品优势
  • 钢带结构
    高洁净度、耐高温、耐腐蚀
  • 磁流体密封技术
    高真空度、低漏率
  • 抛光不锈钢手臂、亮面不锈钢护罩
    表面美观、高洁净度
  • 精简传动
    精简传动结构,高效,长寿命
  • 软件控制系统
    效果优良的碰撞保护功能、动态纠偏功能
  • 质量可靠
    高品质零部件,精密装配,严格检验,确保高精度、高寿命
  • 模块化
    方便维修维护

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 有效载荷

    ≤12kg

  • 工作范围

    ≤1500

  • 控制轴数

    3

  • 重复定位精度

    ±0.2

  • 安装方式

    上法兰安装

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